1738 gibi erken bir tarihte, İsviçreli bilim adamı Daniel Bernoulli, ilk Bernoulli denklemini temel alan diferansiyel basınç yöntemini kullanarak su akışını ölçtü. Daha sonra İtalyan bilim adamı GB Venturi, akışı ölçmek için Venturi tüpünün kullanımını inceledi ve sonuçlarını 1791'de yayınladı.
1886'da Amerikalı Herschel, Venturi tüpünü su akışı için pratik bir ölçüm cihazı haline getirdi.
20. yüzyılın başlarından 20. yüzyılın ortalarına kadar orijinal ölçüm ilkeleri yavaş yavaş olgunlaştı ve insanlar artık düşüncelerini mevcut yöntemlerle sınırlamak yerine yeni keşiflere başladı.
1930'lu yıllarda ses dalgalarını kullanarak sıvı ve gazların akış hızını ölçen yöntemler ortaya çıktı. Ses dalgalarını kullanarak akışı ölçmeye yönelik yöntemler araştırılırken, II. Dünya Savaşı'na kadar önemli bir ilerleme sağlanamadı. Havacılık yakıtının akış hızını ölçmek için akustik sirkülasyon yöntemini kullanan Maxson akış ölçer 1955 yılına kadar piyasaya sürülmedi.
1960'lı yıllardan itibaren ölçü aletleri hassasiyet ve minyatürleşme yönünde gelişmeye başladı.
Entegre devre teknolojisinin hızla gelişmesiyle birlikte, faz-kilitli döngü teknolojisine sahip ultrasonik akış ölçerler yaygın olarak kullanılmaya başlandı. Mikrobilgisayarların yaygın olarak uygulanması akış ölçüm kapasitesini daha da geliştirmiştir. Örneğin lazer Doppler hız ölçerler mikrobilgisayarlarla donatıldıktan sonra daha karmaşık sinyalleri işleyebilir.