Piezodirençli Basınç Sensörü
Direnç gerinim ölçer, piezo dirençli gerinim sensörünün ana bileşenlerinden biridir. Metal direnç gerinim ölçerin çalışma prensibi, alt tabakaya adsorbe edilen gerinim ölçerin direncinin, genellikle direnç gerinim etkisi olarak bilinen mekanik deformasyonla değişmesi olgusuna dayanmaktadır.
Seramik Basınç Sensörü
Seramik basınç sensörü piezorezistif etkiyi temel alır. Basınç doğrudan seramik diyaframın ön yüzeyine etki ederek hafif bir deformasyona neden olur. Seramik diyaframın arkasına kalın bir-film direnci basılarak bir Wheatstone köprüsü oluşturulur. Piezo dirençli direncin piezo dirençli etkisi nedeniyle köprü, basınçla orantılı ve aynı zamanda uyarma voltajıyla da orantılı olan oldukça doğrusal bir voltaj sinyali üretir. Standart sinyaller basınç aralığına bağlı olarak 2,0/3,0/3,3 mV/V vb.'ye kalibre edilir ve gerinim ölçer sensörleriyle uyumludur.
Dağınık Silikon Basınç Sensörü
Dağınık silikon basınç sensörünün çalışma prensibi de piezodirenç etkisine dayanmaktadır. Bu prensibi kullanarak, ölçülen ortamın basıncı doğrudan sensörün diyaframına (paslanmaz çelik veya seramik) etki ederek, diyaframın ortam basıncıyla orantılı olarak mikro-yer değiştirmesine neden olur. Bu, sensörün direncinde bir değişikliğe neden olur. Elektronik devre bu değişikliği algılar ve o basınca karşılık gelen standart bir ölçüm sinyali verir.
Safir Basınç Sensörü
Gerinim ölçer prensibini kullanan bu sensör, yarı iletken algılama elemanı olarak benzersiz metrolojik özelliklere sahip silikon-safir kullanır. Bu nedenle silikon-safirden yapılmış yarı iletken algılama elemanları sıcaklık değişimlerine karşı duyarsızdır ve yüksek sıcaklıklarda bile mükemmel çalışma özellikleri sergiler; safir güçlü bir radyasyon direncine sahiptir; ayrıca silikon-safir yarı iletken algılama elemanlarında p-n kayması yoktur.
Piezoelektrik Basınç Sensörü
Piezoelektrik etki, piezoelektrik sensörlerin ana çalışma prensibidir. Piezoelektrik sensörler statik ölçümler için kullanılamaz çünkü harici bir kuvvet uygulandıktan sonra yük yalnızca devre sonsuz giriş empedansına sahip olduğunda korunur. Gerçekte durum böyle olmadığından piezoelektrik sensörler yalnızca dinamik gerilimi ölçebilir.